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洁净室等级标准（国内和国外标准对比）
发布时间：2018-10-08 16:59:40 浏览：97
洁净室等级标准（国内和国外标准对比）
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
ISO分级 | 大于等于表中所列粒径悬浮粒子大允许浓度（颗/m3） | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
ISO1级 | 10 | 2 | ||||
ISO2级 | 100 | 24 | 10 | |||
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